TMC主動(dòng)空氣隔振調(diào)平系統(tǒng)PEPS II
PEPS II建立在TMC的*利PEPS（精密電子定位系統(tǒng)）基礎(chǔ)上并對(duì)其進(jìn)行了改進(jìn)。通過添加新的數(shù)字控制器，PEPS II更易于使用，提供了更多功能，還有一個(gè)改進(jìn)的用戶界面。PEPS II是一種用于TMC氣動(dòng)隔振系統(tǒng)的數(shù)字非接觸式高度控制系統(tǒng)。這種系統(tǒng)通常包括機(jī)械高度閥和機(jī)械高度傳感連桿。其應(yīng)用包括需要改善穩(wěn)定時(shí)間和提高產(chǎn)量的半導(dǎo)體制造設(shè)備以及需要最佳噪聲性能和平臺(tái)穩(wěn)定性的精密實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。
TMC主動(dòng)空氣隔振調(diào)平系統(tǒng)PEPS II特點(diǎn)
●數(shù)字控制，用戶友好的LCD界面
●用于Gimbal Piston、CSP和MaxDamp隔振系統(tǒng)的非接觸式電動(dòng)氣動(dòng)高度控制
●Z軸位置重現(xiàn)性：10微米
●由于消除了傳統(tǒng)機(jī)械高度控制系統(tǒng)的杠桿接觸點(diǎn)，從而改善了隔振效果
●氣動(dòng)前饋功能最大限度地減少了Z軸對(duì)X-Y平臺(tái)運(yùn)動(dòng)的反應(yīng)
●可以調(diào)整以快速穩(wěn)定由X-Y平臺(tái)引起的運(yùn)動(dòng)
●可選的“VX"功能集成了慣性傳感器，用于主動(dòng)阻尼垂直隔振器共振
●與“軟塢站"兼容。允許在沒有運(yùn)動(dòng)安裝的情況下加載/卸載晶圓
●相稱的電子閥門?！伴_關(guān)"或傳統(tǒng)電子閥不會(huì)產(chǎn)生脈沖噪聲
●排氣管用于廢氣的清潔處理
●邏輯停靠控制和狀態(tài)
規(guī)格
物理尺寸 | PEPS II控制器 1.72英寸（43.7mm）高 x 8.0英寸（203mm）寬 x 9.4英寸（240 mm）深 |
重量 | PEPS II控制器：約3.0磅（1.2千克） |
環(huán)境
（參見EN 61010-1：1993,
EN 61010-1/A2: 1995） | 僅限室內(nèi)使用，最高2,000米海拔（6560英尺）
最大允許溫度范圍：5°C至35°C
最大允許濕度：31°C以下時(shí)為80％，40°C時(shí)線性降至50％相對(duì)濕度
主電源電壓容差：85 VAC - 240 VAC
過電壓類別：2
污染等級(jí)（IEC 664）：2
通風(fēng)要求：兩側(cè)間隙25毫米，上下間隙0毫米 |
電源要求 | 電源輸入電壓范圍：90-230 VAC
輸入頻率范圍：50-60 Hz |
PEPS II用戶界面
（前面板） | 電源開關(guān)
4個(gè)菜單按鈕
LCD顯示20 x 2個(gè)字符
2個(gè)診斷插座（BNC型）
三色狀態(tài)指示燈
USB 端口 |
PEPS II 界面
（后面板） | 帶EMI濾波器的交流電源輸入
1個(gè)空氣輸入卡入式端口，用于1/4英寸外徑管道
1個(gè)空氣輸出（排氣）卡入式端口，用于1/4英寸外徑管道
4個(gè)空氣卡入式端口，用于1/4英寸外徑管道（每個(gè)隔振器一個(gè)）
DB-25公頭輸入端-輸出端和前饋插座
1個(gè)Phoenix 0.2英寸間距6引腳綠色接頭（垂直接近傳感器）
1個(gè)Phoenix 3.5毫米間距6引腳黑色接頭（水平接近傳感器）
接地螺紋螺柱（＃10-32螺紋）
DB-25 F插座：1個(gè)數(shù)字輸入端，3個(gè)地震檢波器傳感器接口（“-VX"選件）
DB-25 F插座：1個(gè)數(shù)字輸入端，3個(gè)電流輸出接近傳感器（可選） |
PEPS II
性能規(guī)格 | 模擬輸入（單極）：8 x 12位（16位使用過采樣），0 ... 3.0 V滿量程
模擬輸入（前饋）：5 x 12位
（16位使用過采樣），±9 V滿量程
模擬輸入（單極）保護(hù)：+5伏，-0.5 V限幅
模擬輸入（前饋）保護(hù)：±15伏限幅
模擬輸出：4 x 12位（16位使用采樣），0 ... 3.0 V滿量程
模擬輸出（可選）：8 x 16位，0 ... 3.0 V滿量程
模擬輸出保護(hù)：無限短路保護(hù)，+5伏限幅
數(shù)字輸入電壓額定值：0 ... +3.3 V，+5 V容差（+5伏限幅）
數(shù)字輸出額定值：0 ... + 3.3 V，最大20 mA
數(shù)字I/O保護(hù)：+5伏，-0.5伏限幅
外部可用電源：+5 VDC，最大2.0 A；+15 VDC，最大1.0 A（最大20瓦）
通訊端口：USB，在PC上顯示為RS-232
處理器：ARM7TDMI / 41.78 MHz
控制回路率：100 Hz - 2.0 KHz
接近傳感器：3個(gè)垂直、（3個(gè)水平可選）渦流，NAMUR 0-20 mA輸出
速度傳感器 - 地震檢波器（“-VX"選件）：3個(gè)垂直，電流輸出 |
氣動(dòng)規(guī)格 | 長期高度穩(wěn)定性：±50微米
長期傾斜穩(wěn)定性：±50微弧度
伺服閥：4 x 雙向可變節(jié)流孔比例伺服閥
閥門技術(shù)：純甲類
最大輸入壓力：120 PSI或8.3巴或830 KPa
標(biāo)稱耗氣量：60標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘（2標(biāo)準(zhǔn)立方英尺/分鐘）
空氣要求：潔凈、干燥的空氣，過濾至20微米或以上
故障安全：隔振器在電源故障或斷電時(shí)會(huì)放氣
氣動(dòng)接頭：“一觸式"快速接頭，適用于1/4英寸外徑軟管 |
性能
